Resumo
A presente invenção diz respeito a um novo processo de obtenção de filmes finos de materiais dieléctricos, piezoeléctricos e ferroeléctricos a baixas temperaturas, cristalinos, densos e com propriedades eléctricas optimizadas, nomeadamente de titanato de bário e estrôncio, BST, a temperaturas baixas, 600 ºC. São misturadas soluções de sol gel convencionais com partículas cerâmicas perovesquíticas com a mesma / diferente composição das soluções e de dimensões nanométricas. O princípio que lhe assiste é o da nucleação heterogénea e redução da energia de activação necessária para a formação da fase cristalina, reduzindo a temperatura de cristalização dos filmes, permitindo a compatibilização com a tecnologia do silício e substratos de baixo custo (aço, vidro, metais-não-nobres), abrindo leque de aplicações destes filmes e a possibilidade de desenvolvimento de novos dispositivos. A relevância da invenção relaciona-se também, com a possibilidade de aplicação a muitos outros sistemas de electrocerâmicos, antevendo alargamento das aplicações existentes e o fabrico de novos dispositivos electrónicos.
Aspetos inovadores & principais vantagens
O desenvolvimento de um método de fabrico de filmes finos dieléctricos, piezoeléctricos e ferroeléctricos através um método sol gel modificado que permite a fabricação de filmes finos cristalinos e monofásicos, com espessuras inferiores a 800 nanómetros e a baixas temperaturas (inferiores a 600 °C, para o caso de filmes finos de BST), densos, sem fissuras, com propriedades dielétricas ótimas (nomeadamente sintonabilidade da permitividade dielétrica de filmes finos de BST), no qual pode ser utilizada uma gama alargada de substratos não refratários. O fabrico de filmes finos monofásicos de titanato de bário e estrôncio (BST) com propriedades dielétricas otimizadas, incluindo a sintonabilidade da permitividade dielétrica.
Aplicações
Para aplicações em microeletrónica, particularmente em sistemas mecânicos microeletrónicos (MEMS - sistemas mecânicos microeletrónicos) e dispositivos sintonizáveis, tais como filtros (filtros ajustáveis), redes (rede de correspondência sintonizável) e osciladores (osciladores de alta frequência controlados por tensão (VCO).
Inventores
Vilarinho, Paula; Wu, Aiying; Gao, JieNossos Inventores
Paula Maria Lousada Silveirinha Vilarinho
Vice-DiretorTitulares
Universidade de AveiroGrupos Envolvidos
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